熱式氣體質(zhì)量流量計是用于測量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表，區(qū)別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量。

　　可應(yīng)用于：

　　　 半導(dǎo)體制造行業(yè)；

　　　 分析儀器設(shè)備行業(yè)；

　　　 各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

　　　 環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

　　　 化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)；

　　　 特種材料表面處理裝置與燃燒；

　　　 混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

氣體質(zhì)量流量計選型的時候需要注意一下幾方面問題：

 1.通過的介質(zhì)。氣體流量計適用于各種氣體，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過流量計的時候如果流量計沒有經(jīng)過特殊處理過，會因為腐蝕性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障，從而影響到了流量計的正常使用，因此相關(guān)特性的介質(zhì)在選型的時候需特別關(guān)注密封材料等信息，如全金屬密封，耐氨橡膠等密封材質(zhì)。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點問題等等。

 2.量程范圍（或者稱之為流量范圍）。在流量計選型的時候，首先要確定所需流量計的量程問題，以HORIBAMETRON（堀場匯博隆）公司產(chǎn)品為例：公司產(chǎn)品以氮氣（N2）來標定,如用其他氣體時需要進行換算，非氮氣介質(zhì)時是以氮氣與該氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)來換算以確定標定流量。

 3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計耐壓范圍是3MPa, 壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以內(nèi)無需任何補償可直接安裝使用；需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作，要明確壓力范圍是否滿足。

 4.接口通徑。選擇接口時需針對管路狀況進行選擇，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主 。

 5.供電電壓和控制。以HORIBAMETRON流量計而言，供電電壓有±15V和24V兩種。控制接口有9針和15針的，也有9孔和15孔的。

 6.通信協(xié)議。相對于數(shù)字式流量計而言很多時候都會涉及到通信協(xié)議問題，以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet為標準，在選擇時注意協(xié)議類型。備注（某些行業(yè)在選擇流量計時模擬控制就可滿足要求）需注意。

 7．其他相關(guān)問題請詳細咨詢廠家相關(guān)技術(shù)人員。